Unsere gebündelten Kernkompetenzen für Ihren Erfolg – Profitieren Sie durch zukunftsweisende Innovationskraft, kundenfokussiertes Arbeiten und effiziente Hinführung zur Serienreife.
Erfahren Sie mehr
Downloads
Multi-Wafer
Für den VerticalGradientFreeze (VGF) Prozess liefern wir alle kohlenstoffbasierten Bauteile in verschiedenen Ausführungen und Materialvarianten. Die kontinuierliche Verbesserung der Bauteile und Reduktion der Prozesskosten kann mit Hilfe von Schunk erzielt werden.
Nutzen Sie diese Vorteile:
- Hochtemperatur-Reinigung der eingesetzten Werkstoffe
- Bor- und Phosphor-Restverunreinigung im einstelligen ppb-Bereich
- CVD ß-SiC Beschichtung des Topplate zur Erhöhung des Füllgrades
- Reduktion des Partikel-Release durch Kaschierungsoptionen der Isolation aus CFC