Oberflächenbehandlung

Verleiht Werkstoffen Schutz, höhere Güte und Funktionserweiterungen

Unsere Oberflächenbehandlungen sind alles andere als oberflächlich – wie bei allen Entwicklungsschritten gehen wir auch hier mit höchster Sorgfalt und Präzision sowie einem tiefgründigen Wissen vor. Eine abschließende Oberflächenbehandlung des Werkstoffs ist immer dann sinnvoll, wenn er vor aggressiven Medien oder hohen Temperaturen geschützt werden soll. Auch die Oberflächengüte und sogar die Funktionalität des Werkstoffs können dadurch gesteigert werden. Veredelungsschritte wie beispielsweise Beschichtungen und Imprägnierungen mit Metallen, Kunstharzen oder speziellen Salzen sind nur ein kleiner Ausschnitt unserer Möglichkeiten, Ihren Werkstoff individuell zu bearbeiten.

 

SiC-Beschichtung für Wafer-Prozessierungsanwendungen
Über Schunk Xycarb Technology bieten wir unseren Kunden der Halbleiterindustrie ein ganzheitliches Produkt- und Dienstleistungsportfolio für die Waferherstellung und -bearbeitung. Unser Know-how umfasst dabei die gesamte Bandbreite keramischer Produkte einschließlich CVD SiC-beschichteter Graphit- und Keramikprodukte. Die Oberflächenbehandlung unserer Wafer-Suszeptoren in Form einer hochreinen und korrosionsbeständigen Beschichtung mit Siliziumcarbid setzt dabei neue Maßstäbe.

Patentierte PyC-Veredelung mit breitem Anwendungsspektrum
Unsere Kunden profitieren von unserer jahrzehntelangen Erfahrung im Bereich von Beschichtungen, die über das LP-CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck) aufgetragen werden. Eine davon erfolgt mit PyC, pyrolyptischem Kohlenstoff. Dieser höchstreine Graphit erhöht die elektrische und thermische Leitfähigkeit sowie chemische Beständigkeit und findet seine Anwendung zum Beispiel im Bereich der Analysetechnik bei Atomabsorptionsspektroskopie (AAS)-Rohren. Unter anderem in der Halbleitertechnik wird die PyC-Oberflächenveredlung zur Reduzierung der Partikelfreisetzung eingesetzt und auch das Oxidationsverhalten von Elektrographit kann durch eine zusätzliche PyC-Beschichtung wesentlich verbessert werden.