FBR技術

FBR技術

流動床リアクタ(FBR)技術に関して、当社はプロセス品質の最適化を実現する幅広い製品・ソリューション群をご用意しています。リアクタのグラファイトエレメントに加え、Schunkは変換ユニット用のさまざまなコンポーネントも生産しています。グラファイト/断熱材/CFCなどレギュラー製品のほか、お客様独自のソリューションや改良にもご対応します。

おもな特長:

  • 使用材料を高温クリーニング
  • ホウ素やリンの残留汚染:< 1 ppm (ppb < 200)
  • 結晶s-SiC層用CVD/CVIコーティング技術
  • 高配向パイロカーボン(PyC)蒸着用CVD/CVI技術
  • 複雑なコンポーネント配列を含む広範囲のコーティング
  • 最高の純度で最長の製品寿命

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