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가열기 요소

도가니 이외에 우리는 실리콘 결정 성장을 위한 흑연으로 만든 가열 요소들을 생산합니다. 실리콘 웨이퍼 제조는 초크랄스키 공법을 이용한 실리콘 결정 성장에서 시작합니다. 직경 300 mm와 길이 2000 mm 이상의 단결정은 결정 성장 시설에서 용융된 실리콘으로부터 성장합니다. 용융 재료는 CFC 또는 흑연 도가니에 위치합니다. 우리의 CFC 또는 흑연 가열 요소들은 CFC 나사로 고정되며 흑연 도가니 가열에 사용됩니다.

이러한 장점으로 인한 혜택:

  • 실리콘 결정 성장을 위한 가열 요소
  • 사용자 맞춤 CFC 또는 흑연 재료
  • 매우 높은 열(Thermal) 저항
  • 높은 공정 신뢰도
  • 긴 사용수명

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