Multi-Wafers

Multi-Wafers

Para o processo Gradiente de congelamento vertical(VGF), nós fornecemos todos os componentes à base de carbono em vários tipos e variedades de materiais. A melhoria contínua dos componentes e a redução dos custos de processo podem ser obtidas com a ajuda da Schunk.

Você vai se beneficiar das seguintes vantagens:

  • Limpeza em alta temperatura dos materiais usados
  • Contaminação residual por boro e fósforo na faixa de alcance ppb de dígito único
  • Revestimento CVD ß-SiC da placa superior para aumentar o grau de preenchimento
  • Redução da liberação de partículas graças às opções de laminação de isolamento

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