มัลติเวเฟอร์ (Multi-Wafers)

มัลติเวเฟอร์ (Multi-Wafers)

เราเป็นผู้จัดหาส่วนประกอบที่มีคาร์บอนเป็นสารประกอบหลักและส่วนประกอบที่มีความแตกต่างหลากหลายทั้งชนิดและวัสดุทั้งหมดให้กับกระบวนการแช่แข็งตามความลาดชันในแนวดิ่ง (Vertical-gradient Freeze (VGF)) และด้วยความช่วยเหลือของชุ้งค์ (Schunk) เราจึงประสบความสำเร็จในการพัฒนาส่วนประกอบอย่างต่อเนื่องและการลดต้นทุนของกระบวนการได้

คุณประโยชน์ที่คุณจะได้รับจากข้อดีเหล่านี้

  • วัสดุที่ใช้ทำความสะอาดที่อุณหภูมิสูง
  • ปริมาณการปนเปื้อนโบรอล (Boron) และฟอสฟอรัส (Phosphorous) มีส่วนตกค้างเป็นตัวเลขหลักเดียวในพันล้านส่วน (Single-digit ppb)
  • เคลือบผิวเพลตด้านบนแบบ CVD ß-SiC เพื่อเพิ่มระดับการเติมวัสดุ (Filling)
  • ลดการปล่อยอนุภาคเพราะเป็นตัวเลือกแบบชั้นฉนวนกันความร้อน CFC

Share this content: