多晶铸锭炉热场

多晶铸锭炉热场

对于垂直梯度凝固(VGF)工艺过程,我们可以按照各种类型及材料型式提供所有的碳基部件。在崇德公司的帮助之下,可以实现部件的不断改进以及工艺过程成本的下降。 

您将受益于以下这些优势:

  • 可以对使用的材料进行高温清洗
  • 硼及磷残留物污染将处于个位数ppb的范围内
  • 顶板的CVD ß-SiC涂层可以提高填充度
  • 由于存在CFC绝缘叠片选择,可以减少颗粒释放

Share this content: