멀티 웨이퍼

멀티 웨이퍼

수직경사동결(VGF) 공정을 위하여 우리는 다양한 형태와 재료로 모든 카본 기반 부품들을 공급합니다. 슝크의 도움으로 부품에 대한 지속적인 개선과 공정 비용 절감을 이룰 수 있습니다.

이러한 장점으로 인한 혜택:

  • 사용한 재료의 고온 세척
  • ppb 단위의 붕소와 인 잔존물 오염
  • 충전 증가를 위한 톱 플레이트의 CVD ß-SiC 코팅
  • CFC 절연판 옵션으로 입자 방출 감소

Share this content: