Сименс-процесс

Сименс-процесс

Мы предлагаем широкий ассортимент продукции и решений для Сименс-процесса производства кремния, которые позволяют оптимизировать качество технологического процесса. Помимо графитовых элементов для реактора осаждения (CVD), Schunk также производит разнообразные компоненты для блока преобразования. В дополнение к обычным графиту/изоляционным материалам и CFC мы также предлагаем индивидуальные решения и доработки для конкретных заказчиков.

Вы по достоинству оцените целый ряд преимуществ:

  • Оптимальная точность при производстве графитовых электродов
  • Высокотемпературная очистка используемых материалов Остаточное загрязнение бором и фосфором < 1 части на миллион (частей на миллиард < 200)
  • Технология создания покрытий методом CVD/CVI для кристаллических слоев из ß-SiC
  • Технология CVD/CVI для осаждения высокоориентированного пироуглерода (PyC)
  • Комплексное покрытие в том числе при работе с компонентами сложной формы
  • Максимальная чистота в сочетании с максимальным сроком службы
  • Стандартные компоненты и индивидуальные решения и разработки для конкретных заказчиков
  • Возможность очистки и нанесения покрытия методом CVD для диаметра до 1700 мм x 2000 мм

Share this content: