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加热器部件

除了坩埚以外，我们还生产采用石墨制成的这些加热元件，用于实现硅晶体生长。硅晶圆制造从使用柴可拉斯基法进行硅晶体生长开始。在晶体生长设施中，将从熔融硅生长出直径为 300 毫米并且长度超过2000毫米的单晶体。熔融材料将位于CFC或石墨坩埚中。我们的CFC或石墨加热元件采用CFC螺钉进行固定，可以用于加热石墨坩埚。 

您将受益于以下这些优势：

  • 用于使硅晶体生长的加热元件
  • 定制CFC 或石墨材料
  • 极高的耐热性
  • 高过程可靠性
  • 持久的使用寿命

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崇德碳技术的专业知识

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