Proceso Siemens

Proceso Siemens

Cuando se trata del proceso Siemens para la producción de silicio, ofrecemos una amplia cartera de productos y soluciones para optimizar la calidad del proceso. Además de los elementos de grafito en el reactor de depósito (CVD), Schunk también produce variedad de componentes para la unidad de conversión. Además de los materiales de aislamiento/grafito y de CFC, también ofrecemos soluciones y refinación específicas para el cliente.

Usted se beneficia de las siguientes ventajas:

  • Óptima precisión en la producción de electrodos de grafito
  • Limpieza a alta temperatura de los materiales utilizados
  • Contaminación residual de boro y fósforo < 1 ppm (ppb < 200)
  • Tecnología de recubrimiento CVD/CVI para capas de ß-SiC cristalino
  • Tecnología CVD/CVI para el depósito de pirocarbón (PyC) altamente orientado
  • Recubrimiento integral, incluso en componentes con formas complejas
  • Máxima pureza combinada con la máxima vida útil en servicio
  • Componentes estándar y soluciones y desarrollos específicos para el cliente
  • Posibilidad de limpieza y CVD de hasta D 1700 mm x 2000 mm

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