Siemensverfahren
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Siemensverfahren

Für den Siemens-Prozess zur Herstellung von Silizium liefern wir ein weites Portfolio an Produkten und Lösungen zur Optimierung der Prozessqualität. Neben den graphitischen Elementen im Abscheidungsreaktor (CVD) stellt Schunk noch eine Vielzahl an Bauteilen für die Konvertierungseinheit her. Außerdem bieten wir neben regulären Graphiten/Isolationswerkstoffen und CFC kundenspezifische Lösungen und Veredelungen an. 

Nutzen Sie diese Vorteile:

  • Höchste Präzision bei der Herstellung von Graphitelektroden
  • Hochtemperatur-Reinigung der eingesetzten Werkstoffe
  • Bor- und Phosphor-Restverunreinigung < 1 ppm (ppb < 200)
  • CVD/CVI-Beschichtungstechnologie für kristalline ß-SiC-Schichten
  • CVD/CVI-Technologie für die Abscheidung von hochorientiertem PyroCarbon (PyC)
  • Umfassende Beschichtung ebenfalls in komplexen Bauteilgeometrien
  • Höchste Reinheit gepaart mit höchster Standzeit
  • Standardbauteilen sowie kundenspezifische Lösungen und Entwicklungen
  • Reinigung und CVD bis D 1700 mm x 2000 mm möglich

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