西门子法

就用于硅生产的西门子法而言，我们可以提供广泛的产品与解决方案组合，对工艺过程质量进行优化。除了沉积反应器（CVD）中的石墨元件以外，崇德公司还生产用于转换单元的各种部件。除了常规的石墨/绝缘材料和CFC以外，我们还提供客户专用的解决方案及精制产品。 

您将受益于以下这些优势：

• 在石墨电极生产中可以达到最佳精度
• 可以对使用的材料进行高温清洗
• 硼及磷残留物污染< 1 ppm（ppb < 200）
• CVD/CVI涂层技术可以用于结晶ß-SiC层
• CVD/CVI技术可以用于实现高度定向热解碳（PyC）的沉积• 全面的涂层，包括在复杂部件几何形状中的涂层
• 最高的纯净度结合最高的使用寿命
• CFC 替代材料
• 适用于您的绝缘材料的独立概念
• 尺寸最高可达36 英寸坩埚直径　
• 标准部件与客户专用解决方案及开发
• 可以进行最大达到D 1700 毫米 x 2000 毫米的清洗和CVD