Processo da Siemens

Quando se trata do Processo da Siemens para a produção de silício, oferecemos uma ampla gama de produtos e soluções para a otimização da qualidade do processo. Além dos elementos gráficos no reator de deposição (CVD), a Schunk também produz vários componentes para a unidade de conversão. Além dos materiais de isolamento/grafites convencionais e CFC, também oferecemos aos clientes soluções e refinamentos específicos.

Você vai se beneficiar das seguintes vantagens:

• Precisão ideal na produção de eletrodos de grafite
• Limpeza em alta temperatura dos materiais usados
• Contaminação residual por boro e fósforo < 1 ppm (ppb < 200)
• Tecnologia de revestimento CVD/CVI para camadas cristalinas ß-SiC
• Tecnologia CVD/CVI para o depósito de pirocarbono (PyC) altamente orientado
• Revestimento completo, inclusive em geometrias complexas dos componentes
• Pureza máxima aliada a uma vida útil máxima 
• Componentes padrão e soluções e desenvolvimentos específicos para o cliente
• Possibilidade de limpeza e CVD de até 1700 mm x 2000 mm