모노 웨이퍼

초크랄스키(CZ) 공법을 위한 관련 카본 기반 제품 이외에 우리는 다양한 최적화 변종들을 공급합니다. 사용연한 증가와 작동 중단 감소 외에 결정 변위를 최적화하기 위하여 소유 비용을 개선할 수 있습니다. 최고의 순도, 정밀도 및 재료 품질로 전체 결정 성장 공정에 걸쳐서 가격 최적화가 가능합니다.

이러한 장점으로 인한 혜택:

• 사용한 재료의 고온 세척
• 붕소와 인 잔류 오염농도 1 ppm 미만 (ppb < 200)
• 결정 ß-SiC 층을 위한 CVC/CVI 코팅 기술
• 높은 방향성의 열분해카본(PyC) 처리를 위한 CVD/CVI 기술
• 복잡한 부품 기하학을 포함한 종합적인 코팅
• 최고의 순도와 최대 사용연한
• CFC 대체 재료
• 절연을 위한 스탠드얼론 개념
• 최고 36" 도가니 직경의 제원