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Mono-Wafers

Além dos relevantes produtos à base de carbono para o processo Czochralski (CZ), fornecemos uma variedade de opção de otimização. O custo de propriedade pode ser melhorado conforme se otimiza os deslocamentos de cristal, além de aumentar a vida útil e reduzir o tempo de inatividade. Máxima pureza, precisão e qualidade de material permitem a otimização dos custos sobre todo o processo de cultivo de cristais.

Você vai se beneficiar das seguintes vantagens:

  • Limpeza em alta temperatura dos materiais usados
  • Contaminação residual por boro e fósforo < 1 ppm (ppb < 200)
  • Tecnologia de revestimento CVD/CVI para camadas cristalinas ß-SiC
  • Tecnologia CVD/CVI para o depósito de pirocarbono (PyC) altamente orientado
  • Revestimento completo, inclusive em geometrias complexas dos componentes
  • Máxima pureza aliada a uma vida útil mais longa
  • Materiais de substituição de CFC
  • Conceitos independentes para seu isolamento
  • Dimensão de até 36" de diâmetro de cadinho

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