Obleas múltiples

Obleas múltiples

Para el proceso de congelación de gradiente vertical (VGF: vertical-gradient freeze), suministramos todo tipo de componentes basados en carbón dentro de una gran variedad de materiales. Con la ayuda de Schunk, podrá alcanzar la mejora continua de los componentes y reducir los costes del proceso.

Usted se beneficia de las siguientes ventajas:

  • Limpieza de alta temperatura de los materiales utilizados
  • Contaminación residual de boro y fósforo en el rango de ppb de un solo dígito
  • Recubrimiento de CVD ß-SiC de la placa superior para aumentar el grado de llenado
  • Reducción de la liberación de partículas gracias a las opciones de laminación de aislamiento de CFC

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