Multi-wafer

Multi-wafer

Per il processo di congelamento del gradiente verticale (VGF - Vertical-Gradient Freeze), forniamo componenti a base di solo carbone in una varietà di modelli e materiali. Con l‘aiuto di Schunk potrai ottenere un miglioramento continuo dei componenti, riducendo i costi di processo.

Vantaggi principali:

  • Pulizia ad alta temperatura dei materiali utilizzati
  • Contaminazione residua da boro e fosforo nell’ordine di una manciata di ppb
  • Rivestimento CVD ß-SiC della piastra superiore per l'incremento del livello di riempimento
  • Riduzione del rilascio di particelle grazie alle opzioni di laminazione C/C dell’isolante

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